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技術(shù)文章

抗靜電紡織品—無塵衣材料
                                               抗靜電紡織品—無塵衣材料
       電子及半導(dǎo)體制造業(yè)者對(duì)靜電釋放與微粒污染損害所需付出的費(fèi)用相當(dāng)驚人,從統(tǒng)計(jì)資料中知悉,全球每年因靜電釋放(ElectrostaticDischarge,ESD)所釀成之損壞成本負(fù)擔(dān)估計(jì)高達(dá)9億美元,有些專家認(rèn)為實(shí)際上的損失還會(huì)更高。因此對(duì)于環(huán)境控制室(無塵室)的要求與品質(zhì)與日俱僧。

由于無塵室內(nèi)的空氣通常須保持在相對(duì)濕度45%的干燥狀態(tài),因此容易產(chǎn)生靜電;靜電在半導(dǎo)體制程上誘發(fā)**的作用主要有兩大類,一為引發(fā)微粒污染,在各種無塵室的微粒污染源中占弟五位,約5%,另一為靜電釋放(ESD),其所引發(fā)的失效率,在產(chǎn)品早期各種失效發(fā)生源中占首位,超過50%;為了克服靜電釋放的問題,許多制造商已著手研究各種靜電控制計(jì)畫,內(nèi)容包括制程機(jī)儀及人體所產(chǎn)生的靜電危害。

無塵室用靜電釋放防護(hù)衣著必須具有:(1)靜電/靜電逸散、(2)微塵粒子產(chǎn)生機(jī)會(huì)低(低發(fā)塵量)、(3)織造強(qiáng)度夠、(4)耐用性好、(5)抗特定化學(xué)藥劑及(6)穿著性舒適等特性。

目前抗靜電無塵衣大都由人造長纖維織造。這些織物可以是針織、梭織或紡黏合方式織造。聚酯長纖是目前無塵室織物濟(jì)主要之原料。為了使織物賦予持久性抗靜電/靜電逸散的效果,一般是于織造過程中嵌入(大概占織物重之0.1-0.5%)導(dǎo)電紗。這些導(dǎo)電紗通常在成品布上顯現(xiàn)條或格子狀樣式(3-10mm,視濟(jì)終用途而定)。

目前市面上有很多種抗靜電纖維可供選擇,這些纖維的織造通常是在纖維制造過程中加入些許導(dǎo)電物質(zhì),分別由以下兩種生產(chǎn)方式而得:

1.有機(jī)高分子纖維(主要是聚醯胺或聚酯)

(a) 熔融紡絲時(shí)加入導(dǎo)電物質(zhì)添加物 (例如碳黑)。

(b) 熔融紡絲后以導(dǎo)電物質(zhì)當(dāng)作纖維后處理。

2.無機(jī)纖維(例如不銹鋼纖維):導(dǎo)電性纖維需經(jīng)過紡紗后再織成布,纖維導(dǎo)電性之優(yōu)劣必須視導(dǎo)電物質(zhì)之種類、添加量和位置來加以調(diào)整,碳纖維是濟(jì)常用之導(dǎo)電材料,硫化銅、碘化銅和其它氧化金屬也常使用。導(dǎo)電物質(zhì)可以使用類似涂布加工的方式覆蓋于纖維外層,或使用復(fù)合紡絲使纖維內(nèi)部含導(dǎo)電材料,亦或一部份分布在表面一部份在纖維內(nèi)部形成兩種介質(zhì),導(dǎo)電材料通常添加量在3%~30%之間。

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